真空環境下精密位置傳感器的研制 精密位置傳感器,將在高真空或超高壓操作(超高真空)環境必須精心構建以低蒸汽壓材料以避免出氣。微觀意義上已經準備在真空環境操作的傳感器相當的經驗,請與您的具體要求與我們聯系。我們的探針已成功地應用于FIB(聚焦離子束)系統、掃描電子顯微鏡系統、光刻系統和各種大型實驗物理項目中。 線性位置測量范圍從10微米到4毫米。 玻璃金屬探針提供低釋氣和高穩定性。探頭體積小,以減少真空室的表面積。 真空制備的圓柱形探頭使用真空兼容的材料和粘合劑,并提供幾乎零的散熱探頭。 探頭有非磁性結構。 提供幾種風格的室壁的引線 真空制備的探頭可用于4800系列和8800系列精密位置傳感器。