對于定位–微型電容式位置傳感器 微觀意義上的迷你是一個緊湊的，高分辨率的線性位移傳感器專為伺服系統的反饋，特別是OEM應用。 微觀意義上的迷你是精密直線位移傳感器具有納米級分辨率的測量范圍可達毫米。迷你是理想的短途旅行，精密定位應用-提供位置反饋的機制，如壓電驅動定位階段，微執行器，掃描探針顯微鏡階段�；谙冗M的電容式傳感技術，微觀意義上的迷你使用任何接地，導電面為目標–沒有線性尺度或鏡子是必需的–提供移動目標的直接測量。 納米級分辨率的精密級范圍可達200µM 高精度，快速響應- 0.02%全量程線性是典型的，沒有周期性誤差或滯后。 與任何導電靶、材料或成品一起工作對精度沒有影響。 用超小型傳感器頭直接測量目標，消除ABB偏移誤差 安裝方便-傳感器頭安裝在一個簡單的精密孔 “機內”校準的串行通信端口 小型配置的微觀意義 微觀意義上的迷你包括一個緊湊的電子模塊（解調器），連接電源，模擬傳感器的輸出和一個串行端口。 檢測到目標的傳感器頭通過1.5米長的電纜連接到電子模塊。 傳感器的各種尺寸是可用的-傳感器的大小取決于所需的測量范圍和分辨率。 可選的低噪聲隔離電源可用。
