微觀意義ultramap c200a是一個自動化的LED藍寶石晶片測量系統基于微觀意義上的專有雙面電容傳感技術。系統測量臨界基板參數包括厚度、TTV,弓,經厚度變化和局部(LTV)的高吞吐量。的ultramap C200是專為藍寶石晶片制造商和LED芯片制造商需要更好的晶片幾何檢測具有更高的測量重復性,相比傳統的光學測量系統。