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MicroSense 電容位移穿傳感器
來源:delsys表面肌電腦電分析系統_EMG_EEG_人因工程 | 發布時間:2018/2/17 19:27:04 | 瀏覽次數:

電容sensormicrosense,LLC,以前稱為幕墻技術,由三個主要業務–精密電容式傳感器、振動樣品磁強計和磁光克爾效應(MOKE)的國家的最先進的磁測量和晶圓測量系統的工具。直到公司被出售,在2009年11月,我們是KLA-Tencor公司的子公司,全球領先的半導體晶圓缺陷檢測和測量工具。微觀意義上是主機行業包括半導體設備、數據存儲、機床、太陽能、汽車和高亮度LED。微觀意義提供了客戶價值和安全性,通過廣泛的商業經驗、資金實力、全球支持和技術領導。



利用電容傳感器進行高分辨率測量

由Robert C. Abbe創立于1967,我們的電容傳感器業務最初是ADE公司的一部分。艾德公司是以其遠見和新穎的方法分辨率高,要求尺寸測量應用的非接觸式測量。隨著時間的推移,ADE逐漸成為世界領先的裸半導體晶圓測量工具供應商。高分辨率電容式傳感器的位置和位移測量(也被稱為“蓋片”)就等同于“門面”和我們的商標名稱,“微觀意義”。



微觀意義提供了電容式傳感器和OEM計量模塊,基于專利的電容式感應技術,使非常精確,高帶寬的測量,如太陽能硅片、精密產品的藍寶石晶片、硬盤驅動馬達,空氣軸承主軸,精密X-Y階段、光盤、汽車部件、機床。我們的電容式位移傳感器提供了業界最高的分辨率,不到0.05納米,卓越的穩定性和幾乎無限的使用壽命。



磁力測量獲獎工具

微觀意義上的磁計量業務起步的數字測量系統(DMS)在25年前,并持續為ADE技術的一部分自1997。



我們在磁性測量的世界級專家團隊,微觀意義上是一種高靈敏度振動樣品磁強計進行磁性測量的領先供應商。我們的振動樣品磁強計有幾種模式具有多種功能,領域范圍,分辨率和選項。我們的VSM系統用于在世界學術界和商業界最有聲望的磁學實驗室進行基礎磁學研究。還提供了一系列在線生產磁性計量工具,以滿足當今快速發展的硬盤存儲系統的嚴格要求。2012、微觀意義上推出了世界上第一臺300毫米準備非接觸磁特性的測量工具(圖右)MRAM晶片的開發和制造。



晶圓尺寸測量的創新工具

藍寶石晶圓微觀意義表征提供了高靈敏度的測量工具、碳化硅和各種類型的半導體晶片。微觀意義上獲得西格瑪科技,公司坦佩,亞利桑那州2012年6月。通過此次收購,微觀意義上說領先的晶圓檢測工具對其創新的計量解決方案組合。西格瑪科技系統整合多種傳感技術如光學法、干涉法和西格瑪科技專利的自動定位背壓(APBP)技術。

 
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