F1031微流量傳感器
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F1031 微流量傳感器是利用熱力學原理對流道中的氣體介質進行流量檢測,具有很好的精度與重復性。F1031微流量傳感器內置有溫度傳感器,每只都進行專有的溫度補償校準;同時具有線性模擬電壓輸出,方便使用
傳感器特點
新一代MEMS傳感器芯片技術;
精度高,響應速度快,重復性好;
可精確測量極小流量;
經過完全校準和溫度補償;
主要應用
工業過程控制
空氣和環境保護
便攜式儀器
技術指標
產品型號 F1031
量程① 20、35、50、100、150、200SLM②
最小 典型值 最大 單位
滿量程輸出 4.90 5.00 5.10 V
零流量輸出 0.96 1.00 1.04 V
輸出阻抗 - 200 - Ω
工作電壓 7.0 10.0 14.0 V
工作電流 15 25 30 mA
精度 - ±1.5 ±2.5 %F.S
重復性 - ±0.3 ±0.5 %F.S
年漂移③ - ±0.1 ±0.5 %F.S
工作壓力④ - - 100 kPa
反應時間 55 50 55 ms
工作溫度⑤ -25 - 65 ℃
儲存溫度 -40 - 90 ℃
注:
①可提供20-200SLM之間任意量程,20、35、50、100、150、200、SLM為常規量程,其他量程收定制費。
②SLM :standard litre per minute,意義為標況升每分鐘,標況規定為:氣體溫度0℃ ;氣壓101.325 kPa;
③測試條件為室溫、清潔空氣。
④如需更高工作壓力請把傳感器背面4枚螺絲孔加以固定。
⑤溫度補償實校范圍為0-50℃,超過此范圍溫度補償效果不能保證。
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